1

填料熔融

2

毛細作用

3

潤濕行為

4

冷卻凝固

5

硬銲接合

產業應用

◎半導體設備零組件(Showerhead,Cooler,…等)

◎靶材背板

◎各式水路冷卻板

◎散熱(散熱鰭片、高功率散熱模組…等)

◎其他大面積接合件

製程專業

◎同質材料接合，包括活性金屬(例如：鋁、鈦...等)

◎異質材料接合，包括金屬與陶瓷

◎無氧化，高精度，高強度

真空硬銲

鋁、銅金屬及合金之真空硬銲接合介面

• 鋁-鋁 接合

  

• 銅-銅 接合

  

• 銅-鋁 接合